近日,太阳集团tcy8722李阳副教授课题组提出了一种基于非光刻技术构建的双面纳米柱结构的柔性压力传感器芯片,该传感器芯片在响应/恢复时间、灵敏度、可靠性、非接触检测方面均展现出了优异的性能。相关研究成果以“Anodized Aluminum Oxide-Assisted Low-Cost Flexible Capacitive Pressure Sensors Based on Double-Sided Nanopillars by a Facile Fabrication Method”为题发表在期刊《ACS Applied Materials & Interfaces》(DOI:10.1021/acsami.9b17966;影响因子:8.456,工程技术类一区期刊)上。文章第一作者为2018级研究生郭云建,通讯作者为李阳副教授,济南大学为第一作者单位。
随着可穿戴电子设备需求的增长,在电子皮肤中起关键作用的柔性压力传感器引起了广泛的研究兴趣,并且许多研究工作已致力于改善其性能。通常在生物材料模板或光刻技术的帮助下制造在柔性压力传感器中传感层。尽管这两种方法各有优势,但它们的缺点也很明显。光刻技术的制造过程比较复杂、费时且成本高,基于生物材料的方法在微观结构的细节(如形状、尺寸和间距)不能被任意控制。而该研究团队巧妙地以阳极氧化铝为模板实现“纳米压印”过程,简便且经济地引入高度有序排列的微结构,大大地提升了器件性能。该器件除能够对人体姿态与生理信号(如运动、弯曲、语音、心跳、脉搏等)检测以外,还进一步拓宽了柔性传感器件在人体轻量化装备、医疗保健监控、智能机器人皮肤和人机界面等方面的应用。
该研究工作得到了国家自然科学基金、山东省自然科学基金优秀青年基金和中国博士后基金等项目的资助。李阳副教授课题组多年来一直致力于射频集成电路、光子芯片以及柔性电子器件的设计与制造方面的研究,取得了多项研究成果。在《Laser & Photonics Reviews》(IF:9.056)、《Nanoscale》(IF:6.97)、《IEEE Electron Device Letters》(IF:3.753)、《IEEE Transactions on Electron Devices》(IF:2.704)等期刊上发表了40余篇SCI论文。